器件物理
识别结构、材料、掺杂和偏压条件，明确需要解释的物理现象。
微电子器件建模与仿真
微电子器件建模与仿真
研究生选修课
微电子器件
建模与仿真
从器件物理出发，建立可计算的模型，用仿真解释工艺、结构与电学响应之间的关系，并把结果组织成可复核的技术报告。
32 学时40% 平时成绩60% PPT 与报告无笔试
32总学时，围绕模型、求解与结果分析展开
40%平时成绩，关注课堂参与与阶段任务
60%PPT 讲解与配套报告，不安排笔试
Course Path
每一个仿真结论，都从清楚的问题和假设开始
课程沿着“物理问题、模型建立、数值求解、证据表达”推进，重点不是记住软件按钮，而是能够说明结果为什么可信。
模型假设
把器件问题转化为可计算的方程、参数、边界条件和适用条件。
数值求解
理解网格、离散方法、收敛设置和计算成本对结果的影响。
结果验证
用曲线、分布图、实验对照和误差分析支撑技术结论。
Courseware
八章课件，从软件概览到功率器件综合
每章按三个 45 分钟教学节组织，包含理论讲解、软件界面、仿真结果、课堂检查点和正式参考文献。
Chapter 0141 页
Silvaco 器件仿真软件功能介绍
从 TCAD 基础走到实际流片，包含 SiC JBS 仿真与 2024 年 1200 V / 50 A IGBT 版图、封装和实测结果。
打开第 1 章课件Chapter 0269 页
TCAD 基础
建立器件问题、数值离散、网格、物理模型与结果可信性之间的完整理论基础。
打开第 2 章课件Chapter 0369 页
TCAD 框架、交互工具与语法规则
理解 DeckBuild、TonyPlot、运行流程、命令语义、文件类型和可追溯仿真记录。
打开第 3 章课件Chapter 0472 页
工艺仿真模块与流程
从 ATHENA 模块、网格和初始化走向氧化、结构提取与功率器件工艺链设计。
打开第 4 章课件Chapter 0572 页
关键工艺步骤与参数校准
系统讲解注入、扩散、薄膜、刻蚀、外延、光刻、优化实验与参数校准。
打开第 5 章课件Chapter 0669 页
器件仿真模块与流程
建立 ATLAS 器件仿真的结构、材料、模型、数值求解、特性提取和结果证据链。
打开第 6 章课件Chapter 0769 页
器件结构、物理模型与结果分析
深入结构编辑、材料参数、物理模型、DC/AC、瞬态、热学与结果解释。
打开第 7 章课件Chapter 0869 页
功率器件仿真
围绕 PiN、SiC JBS、肖特基二极管、MOSFET、IGBT 和保护环建立综合案例。
打开第 8 章课件Assessment
考核关注你能否解释一次完整的仿真
考试不安排笔试。每位学生完成一次 PPT 讲解并提交配套报告，用一条完整证据链说明问题、方法、结果和局限。
- 40%
平时成绩
课堂参与、阶段任务和学习过程。重点是持续完成建模与结果分析练习。
- 60%
PPT 与报告
报告应包含问题背景、模型假设、仿真设置、结果分析、误差来源和结论边界。
Resources